物理学 > 应用物理
[提交于 2018年7月1日
]
标题: 超宽禁带 β-Ga₂O₃ 纳米机械谐振器具有空间可视化多模态运动
标题: Ultrawide Band Gap β-Ga2O3 Nanomechanical Resonators with Spatially Visualized Multimode Motion
摘要: β-氧化镓(\beta -Ga2O3)是一种新兴的超宽禁带半导体(4.5 - 4.9 eV),具有吸引人的特性,适用于未来的功率电子、光电子以及用于检测气体和紫外线辐射的传感器。通过各种方法制备的\beta -Ga2O3薄膜正在积极研究用于这些器件。在这里,我们报告了使用通过低压化学气相沉积(LPCVD)生长的\beta -Ga2O3纳米片制作的单晶\beta -Ga2O3纳米机械谐振器的实验演示。通过对\beta -Ga2O3圆形鼓头结构的研究,我们在高频(HF)/甚高频(VHF)波段展示了高达第六模式的多模纳米谐振器,并实现了多模运动的空间映射和可视化。这些测量结果显示杨氏模量为E_Y = 261 GPa,各向异性的双轴内应力为37.5 MPa和107.5 MPa。我们发现热退火可以显著改善谐振特性,包括频率约提升40%和品质(Q)因子约提升90%。这项研究为未来机械耦合和可调谐的\beta -Ga2O3电子、光电和物理传感器件的探索和开发奠定了基础。
当前浏览上下文:
physics.app-ph
切换浏览方式为:
文献和引用工具
与本文相关的代码,数据和媒体
alphaXiv (什么是 alphaXiv?)
CatalyzeX 代码查找器 (什么是 CatalyzeX?)
DagsHub (什么是 DagsHub?)
Gotit.pub (什么是 GotitPub?)
Hugging Face (什么是 Huggingface?)
带有代码的论文 (什么是带有代码的论文?)
ScienceCast (什么是 ScienceCast?)
演示
推荐器和搜索工具
arXivLabs:与社区合作伙伴的实验项目
arXivLabs 是一个框架,允许合作伙伴直接在我们的网站上开发和分享新的 arXiv 特性。
与 arXivLabs 合作的个人和组织都接受了我们的价值观,即开放、社区、卓越和用户数据隐私。arXiv 承诺这些价值观,并且只与遵守这些价值观的合作伙伴合作。
有一个为 arXiv 社区增加价值的项目想法吗? 了解更多关于 arXivLabs 的信息.