标题： 可见光和电信波段单光子计数的NbTiN超导纳米线探测器在Si3N4光子电路中的应用 显示英文标题

标题： NbTiN superconducting nanowire detectors for visible and telecom wavelengths single photon counting on Si3N4 photonic circuits

摘要： 我们展示了在化学计量硅氮化物波导上图案化的铌钛氮化物超导纳米线，用于检测可见光和红外光子。 在硅基绝缘体上的硅氮化物的使用使我们能够同时实现可见光和红外光的光子电路，并将它们直接集成在芯片上的纳米线探测器。 通过在此材料平台上实施行波探测器结构，我们在两个波长范围内实现了高效的单光子检测。 我们的探测器是集成量子光学的理想匹配，因为它们在一个宽带透明波导材料上提供了关键功能。 显示英文摘要

摘要： We demonstrate niobium titanium nitride superconducting nanowires patterned on stoichiometric silicon nitride waveguides for detecting visible and infrared photons. The use of silicon nitride on insulator on silicon substrates allows us to simultaneously realize photonic circuits for visible and infrared light and integrate them with nanowire detectors directly on-chip. By implementing a traveling wave detector geometry in this material platform, we achieve efficient single photon detection for both wavelength regimes. Our detectors are an ideal match for integrated quantum optics as they provide crucial functionality on a wideband transparent waveguide material.